
M-361CP是一種結合了測量大氣壓至中真空的pirani計和測量高真空至超高真空的冷陰極計的組合儀。
寬范圍測量僅用一個儀表實現。
特征
測量穩定性,減少了pirani和冷陰極的開關故障,測量因放電和壓力指示值波動而停止。
大氣壓檢測,通過皮拉尼計良好測量大氣壓區。
響應性等于振膜表。
簡單維護
廣泛適用于從大氣壓到超高真空的真空測量
電子學與光學:真空蒸發、鍍膜、電子束掩模寫入、濺射、離子注入、分子束外延(MBE)
分析:使用任何真空工藝的掃描電子顯微鏡(SEM)、二次離子質譜(SIMS)、俄歇電子能譜(AES)、X射線光電子能譜(XPS)和其他分析方法
工業:退火、溶解、焊接、回流焊、固化、電子束焊接、冶金、分子蒸餾、氣體填充
高能物理:加速器,回旋加速器


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